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各行業中無塵車間的溫濕度標準
來源:
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作者:
zhuhua
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發布時間:
759天前
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無塵車間是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、**等污染物排除,并將室內的溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度、噪聲、照明及靜電控制在某一需求范圍內而特別設計的空間。
無塵車間對于溫濕度的控制主要取決于其生產工藝。但在滿足加工工藝的條件下,還應考慮到車間內人的舒適感。因為人出汗以后,會對產品產生污染。那么,各行業中無塵車間的溫濕度標準到底有什么不同呢?
一、精密機械加工業
在精密機械加工和計量等場合,為了防止因熱膨脹而引起的誤差,應保持工作環境溫度的均一性。工件溫度的允許波動幅度應根據加工精度決定。例如,在恒溫室里對一根長500mm的標準尺刻線,工藝允許線間公差為2um,其中lum為尺溫變化所引起的形變誤差,另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量=0.20C[a為尺線膨脹系數,取10/um/(m?K);l為尺長,m],故工件溫度變化需在: 以內。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性,空氣溫度的波動傳人工件后,就要衰減。在設計恒溫系統時,一般總是以恒定環境空氣溫度為依據,故相應的環境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此,在確定恒溫室參數和選擇自動控制時,須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。
二、電子制造業
在電子行業制造車間是zui重要產生靜電的地方,通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故,所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%,這樣即可以減少靜電的產生,通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚,電子廠無塵車間無特殊要求的情況下,溫度控制在22 ℃ 左右,相對濕度控制在 55 ~ 60%RH 之間,在這種環境下,人們感覺舒適,靜電也消失了。
三、生物制藥業
在生物制藥的無塵車間中對易吸潮藥品的相對濕度要求45%~50%RH(夏季),片劑等固體制劑50%~55%RH,水針及口服液55%~65%RH 。這樣有利于更好的控制藥品的生產質量。
四、集成電路生產加工行業
在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。
五、食品生產業
食品,保健品,飲料等車間對對生產潔凈度要**比較高的,通常為10萬級至萬級以上,但同時車間的濕度越低越容易滋生**,**和其他生物污染(霉菌,病毒,**,螨蟲)在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時,可以使**的影響以及呼吸道感染降至zui低。
為了便于測試不同行業中無塵車間的溫濕度,我公司(上海瑞宏檢測技術有限公司)自主研發生產了THR-4型數字式溫濕度儀。該儀器選用美國MEAS的傳感器,以數字形式顯示無塵室內的溫濕度,測試精度高、測試準確,可廣泛應用于電子、制藥、生物技術、航空航天等生產、科研部門,是制藥企業和質量監督部門貫徹GMP規范加強生產環境管理的理想儀器。
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